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微波等離子體化學(xué)氣相沉積MPCVD
鉆石培育技術(shù)已經(jīng)越來越熟悉的進入人們的視野，MPCVD設(shè)備的研發(fā)也是提升到了新階段，那么MPCVD設(shè)備是什么呢？
        MPCVD中文名稱叫微波等離子體化學(xué)氣相沉積，MPCVD設(shè)備作為優(yōu)異的鉆石培育設(shè)備，其工作原理為通過微波源產(chǎn)生微波，在微波場的作用下，反應(yīng)氣體被激發(fā)為等離子體狀態(tài)。等離子體是部分電子被剝奪后的原子及原子團被電離后產(chǎn)生的正負(fù)離子組成的離子化氣體狀物質(zhì)。等離子體呈球狀形成于金剛石襯底上，利用等離子體的高溫讓襯底可以加熱到一定的溫度。用5KW 微波功率的MPCVD設(shè)備，可以以微米級每小時的速率沉積工具級金剛石膜、熱沉級金剛石膜、光學(xué)級金剛石膜等。

        MPCVD設(shè)備能沉積高純度的金剛石膜，其沉積速率也可以通過加大微波功率來提高。裝置設(shè)計人員將微波頻率從2.45GHz降低到915MHz。如果使用915MHz頻率的微波MPCVD設(shè)備裝置，就可以使微波功率提高很多，而微波功率的加大則能大幅度地提高金剛石膜的沉積速率，從而降低生產(chǎn)成本，提高生產(chǎn)效率。一般2.45GHz頻率的MPCVD設(shè)備，它的微波功率一般不超過8KW，微波頻率的降低就可以使駐波腔截面積加大，使得金剛石膜的沉積面積加大，而沉積金剛石膜的直徑也從1.5KW微波功率的50mm金剛石膜上升到75KW微波功率的250mm金剛石膜。